Layertec 優(yōu)質(zhì)基材

Layertec 優(yōu)質(zhì)基材

腔衰蕩時(shí)間光譜儀或EUV鏡的特殊激光應用的優(yōu)質(zhì)基材的特點(diǎn)是：

Ø精確的幾何形狀：有關(guān)直徑，厚度，折痕或曲率半徑等幾何特性的公差，請咨詢(xún)客服

Ø表面粗糙度

Ø表面形狀公差

Ø拋光表面上的缺陷數量

LAYERTEC針對所有這些參數優(yōu)化了拋光程序。 在下文中，我們就會(huì )展示使用熔融二氧化硅和氟化鈣可獲得的出色結果。

規格

表面粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化鈣的平面基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑彎曲的球形熔融石英表面上得到相似的結果（取決于直徑和曲率半徑的比率）

Ø即使在紫外線(xiàn)范圍內，基材的散射損耗也非常低：

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波長(cháng)范圍內也適用于低損耗光學(xué)元件

高質(zhì)量拋光熔融石英基板的功率譜密度（PSD）曲線(xiàn)（在FhG IOF Jena上執行的測量）

高質(zhì)量拋光CaF2基板（在FhG IOF Jena執行）的3D AFM測量，均方根粗糙度0.12nm

Layertec 優(yōu)質(zhì)基材

表面形狀公差

表面質(zhì)量

如何選基材

基材的價(jià)格和質(zhì)量取決于材料，形狀，尺寸，公差和拋光質(zhì)量。在此站點(diǎn)上，我們將提供有關(guān)上述每個(gè)問(wèn)題的更多信息。但是請注意：所有這些解釋都非常簡(jiǎn)化。有關(guān)詳細規范，請閱讀相關(guān)標準的全文。我們也很高興通過(guò)電話(huà)討論您的詳細問(wèn)題。

材料

第一個(gè)決定是基板的材料。對于高傳輸的所有波長(cháng)，它都應無(wú)吸收。如果沒(méi)有發(fā)生傳輸，則可以使用低成本的材料，例如適用于金屬鏡的Borofloat®（SCHOTT AG）。關(guān)于表面形狀公差，低的熱膨脹是有利的。

形狀

必須分別為兩側定形狀?；旧?，平面，凸面和凹面的所有組合都是可能的。特殊角色扮演著(zhù)角色?？梢栽诟鞣N表面（平面以及凸面或凹面）上應用楔形物（例如30 arcmin）。對于彎曲的基板，半徑符號有不同的約定。有時(shí)，“ +”表示凸形，“-”表示凹形。其他用戶(hù)將“ +”和“-”稱(chēng)為光傳播。在這種情況下，“ +”表示“沿傳播方向的曲率”，“-”表示“沿傳播方向的曲率”。為避免混淆，請分別在單詞中或在首字母縮寫(xiě)CC或CX上定凹形或凸形。

尺寸

主要決定是邊緣長(cháng)度或直徑。

除非另有說(shuō)明，否則厚度描述是指基板的最大厚度，即平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。因此，在較厚的一側測量了楔形板。

為了獲得良好的形狀公差，應該注意直徑和厚度的比率。根據經(jīng)驗，厚度應為直徑的五分之一。當然，其他比率也是可能的，但是生產(chǎn)支出增加了。

規范不同類(lèi)型的基板厚度的慣例（示意圖）

公差范圍

除尺寸和材料外，公差對價(jià)格重要。當然，光學(xué)元件必須安裝在安裝座中，以使直徑不應大于規定的直徑。最常見(jiàn)的規格是– 0.1mm。 通常，厚度在兩個(gè)方向上都是自由的。LAYERTEC通常定其公差為±0.1mm。關(guān)于楔形，并行性和對中的規范存在很多困惑。請注意，楔形和平行度描述了光學(xué)表面之間的角度，而居中描述了光學(xué)表面和側面之間的角度（見(jiàn)圖2）。

圖2關(guān)于楔形和定心的各種平面基板（示意圖）

LAYERTEC標準基材的平行度優(yōu)于5arcmin。 特制的并行可能具有低至10arcsec的并行度。 標準楔形基板的楔形度為0.5°或1°。取決于基板尺寸，較大的楔角是可能的。通常，與側面成90°角的精度為20arcmin。定心是附加的光學(xué)處理，可將這種精度提高到幾弧分。

使用相同的術(shù)語(yǔ)，可以描述彎曲的基材。鏡子和鏡片之間應該有區別。鏡子基板的側面是平行的。然而，光軸的方向可以相對于側面傾斜。居中后，側面平行于光軸。這樣，鏡面基板就變成了透鏡。

表面形狀公差

表面形狀公差通常由干涉儀測量，并以λ為參考值，λ是參考波長(cháng)。無(wú)需進(jìn)一步說(shuō)明，參考波長(cháng)為λ= 546nm。為避免混淆，必須清楚地區分平坦度，功率和不規則度。下面，將解釋平面的平坦度和不規則度。

圖3區分平面度，功率和不規則性的示意圖。第一基板的平坦度為λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的冪以及λ/ 10的不規則度。第三基板在每個(gè)表面上具有λ/ 4的不規則性，但是透射波前的變形僅為λ/ 10。

一般而言，每個(gè)實(shí)際表面或多或少都是彎曲的。想象一下，真實(shí)表面的“峰”和“谷”被平行平面覆蓋（見(jiàn)圖3）。這些平面之間的距離稱(chēng)為平坦度。這種平坦性包括兩個(gè)方面。第一個(gè)貢獻是表面的球形彎曲，這可以用兩個(gè)適合的“峰”和“谷”擬合球來(lái)描述。相對于理想平面的該曲率的弧矢表示為冪。這種球形彎曲不會(huì )影響反射光束的質(zhì)量。它只是導致有限的焦距。第二個(gè)貢獻是最佳擬合球體的偏差，稱(chēng)為不規則性。這是光束質(zhì)量重要的值。

ISO 10110標準為定表面形狀公差提供了足夠的機會(huì )。與測量結果具有最佳的可比性，所有值均以干涉條紋的數量給出。應將其讀取為1條紋=λ/ 2。在圖紙中，將表面形狀公差分配為第三項：3 /功率（不規則性）。

示例：可以將規則的（λ/ 10）稍微彎曲（λ/ 4）的光學(xué)器件定為：3 / 0.5（0.2）。

僅將光學(xué)器件用于傳輸（例如激光窗口），功率和不規則性都無(wú)關(guān)緊要。如果光學(xué)元件在整個(gè)自由孔徑上具有相同的厚度，則透射光束不會(huì )受到影響。與平坦度相似的方式定義了與該相等性的偏差。它也以參考波長(cháng)的一部分進(jìn)行測量，稱(chēng)為“透射波陣面”。例如，圖3中的窗口的平坦度為λ/ 4，但透射波前為λ/ 10。”

涂層應力

通常，薄的基材無(wú)法承受涂層應力。涂層將導致球形變形。這意味著(zhù)發(fā)生有限的矢狀面或力量。對于圓形基板，不規則性不受此問(wèn)題影響。認真對待上述值，平坦度變差。然而，光束的質(zhì)量不受影響。

瑕疵

MIL-O -13830和ISO10110是描述光學(xué)元件的不同標準。這通常會(huì )導致模糊不清。 本上，應該區分劃痕和凹痕。MIL-O-13830中的劃痕和挖掘深度數字表示最大的劃痕寬度（以十分之一微米為單位）和最大挖掘直徑（以百分之一毫米為單位）。最大尺寸挖掘可以是直徑的每20mm一次。根據ISO10110，缺陷定為項目編號5。等級編號表示二次區域的邊長(cháng)（以毫米為單位），它等于總缺陷區域。因此5 / 1x0.025表示表面缺陷面積為0.000625 mm2。此外，前導L表示任何長(cháng)度的刮擦。寬度為4微米的長(cháng)刮擦將定為L(cháng) 1 x 0.004。

標準質(zhì)量基材

LAYERTEC的精密光學(xué)設備可生產(chǎn)平面和球面彎曲的鏡面基板，熔融石英的透鏡和棱鏡，BK7和SF10等光學(xué)玻璃以及某些晶體材料，例如 氟化鈣。在以下內容中，您可以找到有關(guān)我們標準基板規格的信息。請不要猶豫，與我們聯(lián)系以獲取其他尺寸，形狀，半徑和材料或特殊組件，例如棱鏡，標準具或彎月形透鏡。

規格

材料

熔融石英：Corning7980®或Lithosil®Q2（SCHOTT AG）

用于高功率應用的熔融石英：Suprasil®300 / 3001/3002（Heraeus）

紫外熔融石英（準分子級）Lithosil®Q1 E -193和E-248（SCHOTT AG）紅外熔融石英：Infrasil302®（Heraeus）

BK7®：光學(xué)玻璃（SCHOTT AG）

CaF2：從紫外線(xiàn)到紅外都是透明的，可根據要求提供準分子級質(zhì)量的價(jià)格

藍寶石：隨機取向，單晶，可根據要求提供特殊取向

YAG：未摻雜，隨機取向，單晶

∅: 直徑 [mm]

t: 厚度 [mm]

外型尺寸

Ø熔融石英，BK7：直徑6.35毫米…508毫米（¼英寸…20英寸）

Ø氟化鈣，YAG，藍寶石：直徑6.35毫米至50.8毫米（¼英寸至2英寸）

Ø可根據要求提供矩形基板和其他直徑

平面基板，平行和楔形

Ø標準平面基板：楔形<5arcmin

Ø標準平行：楔形<1arcmin或楔形<10arcsec

Ø標準楔子：楔形= 30arcmin或楔形= 1deg

平凹和平凸基材

Ø標準半徑：25、30、38、50、75、100、150、200、250、300、400、500、600、750、1000、2000、3000、4000、5000mm

Ø楔形：CaF2：楔形<15min，所有其他材料：楔形<5min

公差范圍

Ø直徑：+0毫米，-0.1毫米

Ø厚度：±0.1mm

•∅：直徑[mm]

•te：邊緣厚度[mm]

•tc：中心厚度[mm]

表面形狀公差

表面質(zhì)量