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CVD鑽石光學(xué)元件

簡(jiǎn)要描述:CVD鑽石光學(xué)元件
多晶CVD金剛石由于其出色的性能,長(cháng)期以來(lái)一直被認為是各種應用的終/極材料。它優(yōu)良的硬度是精密工具和加工工藝的優(yōu)勢。金剛石的高導熱性使它在熱管理應用中非常有用。其廣泛的光學(xué)傳輸范圍使金剛石窗口能夠進(jìn)入半導體制造的尖/端光刻系統。

  • 產(chǎn)品品牌:其他品牌
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-11-25
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:679

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CVD鑽石光學(xué)元件

CVD鑽石光學(xué)元件

多晶CVD金剛石由于其出色的性能,長(cháng)期以來(lái)一直被認為是各種應用的終/極材料。它優(yōu)良的硬度是精密工具和加工工藝的優(yōu)勢。金剛石的高導熱性使它在熱管理應用中非常有用。其廣泛的光學(xué)傳輸范圍使金剛石窗口能夠進(jìn)入半導體制造的尖/端光刻系統。此外,它在微波波段的透明度為微波工程的應用開(kāi)發(fā)開(kāi)辟了一個(gè)完整的世界。在其較純凈的形式下,多晶CVD鉆石沒(méi)有電子陷阱,使其成為高能應用中使用的超敏感核探測器的理想材料。

通過(guò)等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(cháng),II-VI公司的鉆石產(chǎn)品經(jīng)過(guò)優(yōu)化,充分利用了使鉆石成為超級材料的品質(zhì)。II-VI Incorporated將晶體生長(cháng)與較*的光學(xué)級加工相結合,通過(guò)整形和拋光、質(zhì)量保證和涂層,其廣泛的CVD金剛石產(chǎn)品組合包括高透明度的微波窗和靈敏度最高的金剛石核探測器。II-VI Incorporated對金剛石材料研究和開(kāi)發(fā)的強烈承諾使我們能夠與希望利用多晶CVD金剛石的驚人品質(zhì)的所有市場(chǎng)客戶(hù)密切合作。

透明窗和光學(xué)器件

在II-VI ,光學(xué)金剛石正在大批量生產(chǎn)。我們一直在生產(chǎn)具有優(yōu)質(zhì)光學(xué)質(zhì)量的材料(低1微米散射,低10.6微米體吸收,低632.8納米的雙折射),其截面尺寸和厚度范圍廣泛。

通過(guò)利用制造和涂層方面的核心技術(shù),II-VI ,成為極紫外光鉆石窗口的優(yōu)良品牌,這對下一代半導體制造的*光刻工具至關(guān)重要。

熱管理解決方案

通過(guò)調整我們的生長(cháng)過(guò)程,II-VI ,已經(jīng)開(kāi)發(fā)出為各種高性能熱管理應用生成多晶CVD金剛石的能力。熱導率的規格范圍高達2200 W/m-K以上。利用我們優(yōu)良的制造設施,我們能夠根據客戶(hù)的規格制造出直徑大至145mm、厚度達2mm的超平和超光滑的部件,以確保與設備的優(yōu)良的熱接觸。

微波透明光學(xué)器件

II-VI 制造高質(zhì)量的鉆石光學(xué)產(chǎn)品,在微波區域是透明的。結合我們內部對直徑大至145mm的窗口和透鏡進(jìn)行拋光和鍍膜的能力,II-VI 已經(jīng)準備好滿(mǎn)足核聚變研究等領(lǐng)域對微波透明材料的需求。

加工解決方案

II-VI 已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種金剛石薄膜,在加工較堅硬的材料時(shí),擁有堪稱(chēng)典/范的硬度和磨損率。通過(guò)將我們較*的拋光和制造技術(shù)與我們內部的激光制造設施相結合,我們能夠以有競爭力的價(jià)格生產(chǎn)出優(yōu)良的產(chǎn)品。

核檢測器解決方案

使用精細調整的超高純生長(cháng)工藝,II-VI ,生長(cháng)出的多晶金剛石薄膜表現出優(yōu)良的電荷收集距離。對于500微米厚的成品部件,可以獲得一致的結果。

主要的CVD鉆石應用

CVD金剛石的應用包括多光譜激光光學(xué)、介電窗、散熱片等。

金剛石是各種應用的終/極材料,因為它具有出色的性能,包括極/強的硬度和強度、高導熱性、低熱膨脹、出色的介電性能、抗化學(xué)侵蝕以及在寬光譜范圍內的光學(xué)傳輸。

我們在較*的生長(cháng)和制造設施中生產(chǎn)高質(zhì)量的多晶CVD金剛石基片。材料采用等離子體輔助化學(xué)氣相沉積工藝生長(cháng),用激光切割成所需的尺寸,并按照客戶(hù)的要求對表面進(jìn)行加工。我們還提供其他特殊的制造服務(wù),如邊緣研磨、激光雕刻以及光學(xué)組件的設計和制造。II-VI ,專(zhuān)門(mén)為金剛石基片提供*的光學(xué)涂層,包括單波長(cháng)或多光譜應用的AR、HR和TFP。

II-VI 所提供的一些產(chǎn)品包括。

用于工業(yè)激光應用的高功率CO2激光窗口(10微米范圍)。

用于工業(yè)或研究應用的高功率多光譜激光窗口。

用于聚變和定向能應用的高功率mm波窗口

用于極/端熱管理應用的熱擴散器

用于需要超硬材料的機械應用的產(chǎn)品。

主要的CVD鉆石應用

CO2激光窗(10.6µm)

- 高功率工業(yè)激光器

高功率微波窗

- 陀螺儀、聚變反應堆

- 雷達、定向能應用

熱管理

- 散熱器



生長(cháng)方法等離子化學(xué)氣相沉積


物理特性


結構立方,多晶
晶粒大小取決于厚度和工藝(0.05 - 1mm)
等級光學(xué)、熱、微波、探測器、機械、客戶(hù)定制
厚度*最大 2 mm


制造能力*


尺寸激光切割客戶(hù)規格,最大直徑145mm
尺寸公差+/- 50µm
拋光縱橫比高達 50:1 的直徑高達 145 mm
功率<0.5_fr/cm
不規則度<0.5_fr/cm
透射波前<0.5_fr/cm
表面粗糙度<15nm


熱性能(熱級材料


導熱系數室溫下高達 >2,200 (W/mK)
熱膨脹系數1 (10-6 K-1)
比熱 (25oC)0.536 (J g-1 K-1)


光學(xué)特性(光學(xué)級材料)*


體積吸收@10.6µm <0.07(cm-1)<0.07(cm-1)
體積吸收@1um <1(cm-1)<1(cm-1)
散射@1µm <0.7(cm-1)<0.7(cm-1)


微波級材料


微波損耗角正切(Tan δ)<2e-5


*這代表標準生產(chǎn)。 可根據要求提供產(chǎn)品數據表和規格。


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